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槽式湿法制程设备

全自动超薄片清洗机

生产主线为:腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台,共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的全自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。
清洗能力:6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette;
圆片厚度范围:6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;




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