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槽式湿法制程设备

12吋全自动磨片清洗机

生产主线为:H2O超声槽1、界面活化剂槽2、H2O超声槽3、界面活化剂槽4、H2O超声槽5、HCL槽6、H2O超声槽7,共7个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的全自动控制系统,操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。


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