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槽式湿法制程设备

全自动碳化硅外延最终清洗机

生产主线为: Load,药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload,共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货,将晶舟置于Robot上货区位置,按下『启动键』,Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程,完成设备本身设定之流程,达成一贯性自动控制的功能。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是IPC工业电脑加PLC控制的全自动控制系统。

 

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